产品详情
  • 产品名称:真空防腐型匀胶机

  • 产品型号:CY-S-V
  • 产品厂商:成越科仪
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简单介绍:
CY-S-V真空防腐型匀胶机是内腔真空密封,采用承压式内腔和盖子,保证内腔环境可以抽真空至-0.06MPa以上负压下进行匀胶处理。CY-S-V真空防腐型匀胶机有真空和常规两种模式操作,可以在内腔抽真空和基片真空吸附两种方式下进行。
详情介绍:

真空防腐型匀胶机性能优点:

1.真空防腐型匀胶机主机机箱采用PP外壳材料,耐腐蚀易清洁

2.内腔采用易清洁、耐腐蚀超高分子材料(HDPE)

3.采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

4.排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。

5.透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

真空防腐型匀胶机技术参数:
旋涂程序:至多可存100组程序,每组100步,每个步骤可**到0.1秒

转动速度:0-10,000rpm(更高速可选)

旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空载)

马达旋涂转速稳定性能误差 :<±1rpm

转速调节精度及重复性:1rpm

CY-S-V真空防腐型匀胶机带真空数字显示功能

工艺时间设定:0-3,000sec/step,时间设置精度:0.1sec

支持晶圆尺寸:碎片至200mm(8”圆晶)

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